真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到真空有一个很大的范围,至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此,为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到配置,选择真空系统时,应考虑下述各点:
需先检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围,认真研究确定之。
在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的限真空度,因为系统的限真空度决定了系统的工作真空度。一般来讲,系统的限真空度比系统的工作真空度低20%,比前级泵的限真空度低50%。
检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应,泵系统将被污染。同时考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。
检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏??悸谴锏揭笳婵斩群笤诠ひ找筇跫挛终婵招枰某槠俾?。